MD-PICTS - Mikrowellen-induzierte photoinduzierte Stromtransientenspektroskopie
MD-PICTS ist eine Weiterentwicklung von MDP, bei der temperaturabhängige Messungen des defektbehafteten Teils des Transienten durchgeführt werden. Dies ermöglicht eine räumlich aufgelöste Charakterisierung der Defekte. Ähnlich wie bei der DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) können die Aktivierungsenergie und der Einfangquerschnitt der Defekte bestimmt werden. Im Gegensatz zur DLTS sind jedoch keine Kontakte erforderlich. Dies ist äußerst wertvoll für die Defektidentifizierung und die Verbesserung der Materialqualität.
Fig. 1: example of a MD-PICTS spectrum of different tempered Cz—Si wafers
Wenn Sie mehr über diese Methode erfahren möchten, lesen Sie:
B. Grundig-Wendrock, M. Jurisch und J. R. Niklas, Materials Science and Engineering B – Solid State Materials for Advanced Technology 91, 371–375 (2002)
S. Hahn, F. Beyer, A. Gällström, P. Carlsson, A. Henry, B. Magnusson, J. R. Niklas und E. Janzen, Materials Science Forum 600–603, 405–408 (2009)
K. Dornich, K. Niemietz, Mt. Wagner, J.R. Niklas, Material Science in Semiconductor Processing, Elsevier, 241–245
Bastian Berger, Nadine Schüler, Sabrina Anger, Bianca Gründig-Wendrock, Jürgen R. Niklas, Kay Dornich, Kontaktlose Charakterisierung elektrischer Defekte in Halbleitern mittels mikrowellendetektierter photoinduzierter Stromtransientenspektroskopie (MD-PICTS) und mikrowellendetektierter Photoleitfähigkeit (MDP)
