Schnelles und zuverlässiges Widerstandsmessgerät für hochdotierte Proben
Außergewöhnliche Wiederholbarkeit (sigma < 0,15%)
Erweiterte Stabilitätssensoren
Nahtlose Inline-Integration und mühelose Kalibrierung
Materialien
RESmap ist auf hochdotierte Materialien spezialisiert.
Eigenschaften & Vorteile
Sigma
< 0.15 %
hervorragende Wiederholgenauigkeit
Widerstandsfähigkeit
1-100
mOhm cm
Durchsatz
> 20
Wafer pro Stunde
± 5 %
Genauigkeit mit Temperaturkorrektur
Bull´s eye chart management for maximum accuracy and precision
Measurement principle of eddy current sensor
Anwendungen
RESmap zeichnet sich durch unübertroffene Wiederholbarkeit, Stabilität und Genauigkeit aus und ist damit die erste Wahl für die präzise Messung des spezifischen elektrischen Widerstands in einer Vielzahl von Materialien.
Dr. Christian Hagendorf
Großkundenbetreuer
| Für die Automatisierung vorbereitet | verschiedene Plattformen verfügbar |
|---|---|
| Messverfahren entspricht | SEMI MF673 |
| Daten und Datenvalidität geprüft | unter Verwendung von NIST-Standards |
| Genauigkeit über das Kalibrierungsintervall | von ±1 % |
| Integrierter IR-Temperatursensor (±0,1 °C) | um die Widerstandsfähigkeit bei einer Standardtemperatur anzugeben, die von der tatsächlichen Temperatur der Probe abweicht |
| Proben-Dickenkorrektur | für Proben, bei denen die Eindringtiefe des Hochfrequenzsignals größer ist als die Eindringtiefe |
| Stromversorgung | 100–250 VAC, 5 A |
| Abmessungen (B/H/T) | 465 x 550 x 600 mm |
| Softwaresteuerung | Standard-PC mit Windows 10 oder neuer, 2 Ethernet-Anschlüsse |
Benutzerfreundliche und fortschrittliche Bediensoftware mit
Anleitungen zur Widerstandsmessung
Export-/Importfunktionen und Zugriff auf Rohdaten
Mehrstufige Benutzerkontenverwaltung
Übersicht über alle durchgeführten Messungen
Kartierungsoptionen (Linie, Kreuz, Stern, Vollkarte, Topografie, benutzerdefiniertes Muster)
Paket mit Analysefunktionen: Statistiken, Varianzanalyse, Temperaturkorrekturfunktionen und Bibliothek
Fernzugriff; das internetbasierte System ermöglicht Fernsteuerung und technischen Support von überall auf der Welt