Ermöglicht fortschrittliche Materialforschung für dünne Schichten und Oberflächen: zerstörungsfrei, flexibel und schnell
Hochsensibel durch ein fortschrittliches elektronisches Detektionssystem
Maßgeschneiderte Laser und Optiken für bis zu 4 verschiedene Wellenlängen
Untersuchung von Ladungstrennungsprozessen und elektronischen Übergängen (Defekten)
Materialien
Eigenschaften & Vorteile
355-1550 nm
Verfügbare Wellenlängen
10 ns
Zeitauflösung
0,1 mm
Räumliche Auflösung
< 5 min
Durchsatz für 8-Zoll-Wafer
Flexibles Mapping-Tool für F&E und Produktionsüberwachung
Die Produktplattform HR-SPSmap baut auf der bewährten Grundlage der weithin anerkannten MDPmap-Serie auf. Dieses kompakte, kontaktlose Tischgerät zur elektrischen Charakterisierung wurde speziell für die Offline-Produktionskontrolle sowie für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen entwickelt. Es misst die Oberflächen-Photospannung (SPV) über einen breiten Injektionsbereich und eignet sich sowohl für die stationäre als auch für die Kurzpuls-Anregung. Dank automatischer Probenerkennung und Parametereinstellung passt es sich mühelos an eine Vielzahl von Proben an, darunter Epitaxieschichten und Wafer in verschiedenen Verarbeitungsstadien – vom frisch gewachsenen Material bis hin zu fertig hergestellten Bauelementen.
Außergewöhnliche Flexibilität und fortschrittliche Funktionen
Einer der herausragenden Vorteile des HR-SPSmap ist seine außergewöhnliche Flexibilität. Ausgestattet mit Anregungsquellen mit fester Energie unterstützt das System die Integration von bis zu vier Lasern im Messkopf. Diese Fähigkeit ermöglicht SPV-Messungen in Abhängigkeit vom Injektionspegel über einen weiten Bereich, von sehr niedrigen bis zu hohen Injektionspegeln, sowie Tiefenprofilierungen unter Verwendung verschiedener Laserwellenlängen. Das System verfügt zudem über eine Bias-Light-Funktion für erweiterte Messoptionen.
Darüber hinaus unterstützt das HR-SPSmap benutzerdefinierte Berechnungen und Mapping-Konfigurationen sowie die Möglichkeit, Primärdaten für detaillierte externe Analysen zu exportieren. Für Standard-Messaufgaben bietet die Plattform ein vordefiniertes Rezeptursystem, mit dem Routinemessungen per Knopfdruck durchgeführt werden können.
Präzision und Anpassungsfähigkeit
Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und seinem benutzerfreundlichen Design ist das HR-SPS die ideale Lösung für Forscher und Produktionsteams, die hochpräzise Oberflächen-Photospannungsmessungen benötigen. Ob für Innovationen in Forschung und Entwicklung oder für eine zuverlässige Produktionsüberwachung – diese Plattform setzt neue Maßstäbe in Sachen Flexibilität und Effizienz bei der elektrischen Charakterisierung.
