Menü überspringen

Eigenschaften & Vorteile

  • Empfindlichkeit: Empfindlichkeit im μV-Bereich und eine Signalauflösung von mehr als 7 Größenordnungen

  • Messgeschwindigkeit: < 5 Minuten pro Punkt für einen 150-mm-Wafer mit 1 mm Auflösung

  • Zeitauflösung: 10 ns bis zu 100 ms

  • Optikkopf: Lasergesteuerte Lichtquelle mit einstellbarer Intensität und Wellenlänge im Bereich von 200 bis 3000 nm. Spektrale Breite < 10 nm.

  • Zuverlässigkeit: Tischgerät mit integriertem Monochromator für hohe Zuverlässigkeit und eine Betriebszeit von > 99 %

Anpassbares Mapping-System für F&E-Bedürfnisse

Flexibles Messwerkzeug für Forschung und Entwicklung

SPSresearch mit einer variablen Anregungsquelle basiert auf derselben robusten Grundlage wie das HR-SPSmap-System mit fester Anregung. Dieses kompakte, kontaktlose Tischgerät zur elektrischen Charakterisierung ist für die Offline-Produktionskontrolle sowie für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen konzipiert. Es ermöglicht präzise Messungen der Oberflächen-Photospannung (SPV) über einen weiten Injektionsbereich und unterstützt sowohl stationäre als auch Kurzpuls-Anregung. Darüber hinaus bietet es kontinuierliche Wellenlängen-Sweeps für echte spektroskopische Messungen und ermöglicht so eine zuverlässige Charakterisierung jeder photoaktiven Probe.

Vielseitige und automatisierte Anpassungsfähigkeit

SPSresearch wurde auf Flexibilität und Effizienz ausgelegt. Die automatische Probenerkennung und Parameterkonfiguration ermöglichen eine nahtlose Anpassung an ein breites Spektrum von Proben, einschließlich Epitaxieschichten und Wafern, die in verschiedenen Stadien verarbeitet werden – vom Rohmaterial bis hin zu vollständig fertigen Bauelementen.

Ob für Innovationen in Forschung und Entwicklung oder für strenge Produktionsüberwachung – SPSresearch mit variabler Anregungsenergie bietet unübertroffene Präzision und Vielseitigkeit und setzt damit einen neuen Standard bei Lösungen zur elektrischen Charakterisierung.

Interesse? Unsere Experten unterstützen Sie gern.

Lassen Sie uns ins Gespräch kommen!

Jetzt kontaktieren

Technische Daten

ProbengrößePulverproben und bis zu 200 mm Durchmesser
Anregunglasergesteuerte Lichtquelle
Materialjedes photoaktive Material (kontaktieren Sie uns für eine Beratung zu Ihrem Material)
messbarzeitaufgelöste und phasenmodulierte Messungen der Oberflächen-Photospannung
Abmessungen1250 × 410 × 460 mm (B × H × T), Gewicht: ca. 100 kg
Stromversorgung100–250 V, 50/60 Hz, 5 A

Zubehör & Konfigurationsmöglichkeiten

Unsere Geräte bieten vielseitige Konfigurationsmöglichkeiten, um spezifische Anforderungen effektiv zu erfüllen. Jedes Modell kann individuell angepasst werden, um maximale Flexibilität und Effizienz zu gewährleisten.

Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen

  • Pulsbreiten- und Pulshöhenmodulation

  • Integrierte Heizstufe (20–250 °C)

  • Variation der Spotgröße

  • Bias-Licht

  • Widerstandsmessung (Wafer)

  • Referenzwafer (Si)

Kontakt aufnehmen

Zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren – wir stehen Ihnen bei allen Fragen und Anliegen gerne zur Verfügung.

Nutzen Sie unser Anfrageformular oder schreiben Sie uns eine E-Mail:
sales@freiberginstruments.com