Wir entwickeln derzeit Simulationswerkzeuge, die auf der Festkörperphysik basieren und Berechnungen der elektronischen Struktur eines bestimmten photoaktiven Materials oder einer Materialkombination nach den Grundprinzipien ermöglichen.

Das SPS/SPV-Simulationstool ermöglicht es Anwendern aller SPS/SPV-Geräte, ihre Messungen anhand simulierter Szenarien zu überprüfen. Dadurch lassen sich beispielsweise die Entwicklungszeit für die Erforschung neuer Materialien verkürzen und/oder die Toleranzen einer bestimmten photoaktiven Materialkonfiguration testen.

Alle transienten Antworten können zwischen 10 ns und 100 ms mithilfe der integrierten Multi-Parameter-Anpassungsfunktion für gestreckte Exponentialfunktionen mit drei Grundparametern angepasst werden: tI, βi und Ai, wobei t die transiente Zeitkonstante, β der Streckungsfaktor der Exponentialfunktion und A die Signalamplitude ist. Die Anzahl der Parameter i kann in den meisten Fällen auf 2 begrenzt werden (d. h. i = 1, 2); 5 ist selten, wird aber manchmal für komplexe Strukturen benötigt. Grundsätzlich ist eine Anpassung mit i = 1,…,12 möglich. 

Abbildung 1 zeigt ein Beispiel für die Verwendung von SPV zur radialen Charakterisierung flacher Defekte nahe dem Leitungsband in einem Float-Zone-Siliziumwafer unter Verwendung einer Anpassungsfunktion, die aus der Summe von 5 gestreckten Exponentialfunktionen besteht.


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