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        便携式OSL读数仪,可高效读取与擦除适配的个人辐射剂量计

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  4. 应用

少数载流子的寿命对半导体中的各种电活性缺陷都很敏感,因此适用于多种应用。

退火处理对缺陷的空间研究

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光电导测量和陷阱分析

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晶片和砖块的电阻测量

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光束诱导电流 (LBIC)

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450 毫米晶片上的少数载流子寿命图

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铁浓度测定

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微波探测光诱导电流瞬态光谱仪

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测量碳化硅的少数载流子寿命

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砷化镓材料质量调查

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砖块中的 p/n 检测

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硅中 CrB 的检测

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硅中 BO2 的检测

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陷阱浓度测定

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注入浓度相关测量

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InP 缺陷水平调查

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多晶硅砖的在线计量

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多晶硅高空间分辨在线计量学

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钝化均匀性和表面复合速度的测定

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离子注入样品的光电导测量

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外延硅薄膜层的寿命测定

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