可对材料缺陷进行根本原因分析：无破坏、灵活而精确
高空间分辨率
为您的所有材料量身定制激光和光学集成系统
适用于最大 4'' 样品的新型低温恒温器
材料
MDpicts pro 能够对几乎所有半导体进行电学特性表征
Si SiC Ge GaAs Ga₂O₃ InP Diamond and more
特性与优势
355-4600 nm
可用波长
10 ns
时间分辨率
83-300 K
温度范围
10 µm
空间分辨率
应用
技术规格
| 温度范围 | 83 – 350 K |
|---|---|
| 样品尺寸 | 最大 4 英寸晶圆及小型硅片碎片 |
| 电阻率 | 0.2 - >1010 Ω·cm |
| 导电类型 | p型、n型 |
| 少数载流子寿命 | 20 ns – 100 ms |
| 可测量的性质 | 寿命、光电导率、活化能等 |
| 激发 | 355 – 4600 nm |
