适用于薄层与表层材料的深度研究，具备无损检测、配置灵活、检测高效的特点
搭载先进电子检测系统，灵敏度极高。
可定制激光器与光学组件，适配多达4个波长
电荷分离过程及电子跃迁（缺陷）研究
材料
Si SiC Ge GaAs Ga₂O₃ InP Diamond and more
特性与优势
355-1550 nm
可用波长
10 ns
时间分辨率
0.1 mm
空间分辨率
< 5 min
8’’ wafer处理速度
面向研发与生产监控的灵活Mapping工具
HR-SPSmap 产品平台建立在广受赞誉的 MDPmap 系列的成熟基础之上。这款紧凑型台式非接触式电学表征工具专为离线生产控制和研发应用而设计。它能在宽注入范围内测量表面光电压（SPV），同时兼容稳态和短脉冲激发模式。凭借自动样品识别和参数设置功能，它可以轻松适应各种样品类型，包括外延层以及处于不同工艺阶段的晶圆——从原生长材料到完整制程器件。
极致灵活，功能强大
HR-SPSmap 的一大突出优势在于其卓越的灵活性。 该系统配备固定能量激发源，测量头内最多可集成四台激光器。这一能力支持在从极低到高注入水平的宽范围内进行注入水平相关的 SPV 测量，并支持使用不同激光波长实现材料深度剖析。该系统还配备偏置光功能，进一步拓展测试方案的可选范围。
此外，HR-SPSmap 支持自定义计算和Mapping配置，并可导出原始数据以便进行详细的外部分析。对于标准计量任务，该平台提供预设的配方系统，只需按一下按钮即可完成常规测量。
精准测试，灵活适配
凭借其先进的功能和用户友好的设计，HR-SPS 是寻求高精度表面光电压测量的研究人员和生产团队的理想解决方案。无论是助力研发创新还是实现可靠的生产监控，该平台都重新定义了电学表征的灵活性和测试效率。
