Omega/Theta XRD

单晶衍射仪

• 全自动单晶完整晶格取向测量

• 采用成熟 Omega Scan法，实现超高速晶向检测

• 全自动摇摆曲线测试功能

• 衍射仪角分辨率：0.1 arc sec

• 支持最大 450 mm样品尺寸

• 兼顾量产质检与科研测试场景

操作简便且经济实惠

• 样品处理便捷，操作简单

• 先进且用户友好的软件

• 能耗低，运行成本低

模块化设计，灵活多变

• 多种升级选项

• 可根据用户需求进行定制

成熟的Omega-scan方法

Omega/Theta X射线衍射仪是一款全自动垂直三轴衍射仪，采用Omega-Scan和Theta-Scan方法以及摇摆曲线测量技术，用于测定各种晶体的取向。其宽敞的设计可容纳长度达450 mm、重量达30 kg的样品及样品架。

所有测量均实现自动化，并可通过用户友好的软件界面进行操作。利用Omega-Scan法，仅需一次晶体旋转（5秒）即可测定完整的晶格取向。Theta扫描法更为灵活，但每次扫描仅能获得一个取向分量。

倾斜角可被极高精度地测定；使用Theta-Scan时精度可达0.001°。对于所有其他晶体方向，精度取决于与表面垂直线的角度差。

该系统采用模块化设计，并配备了多种用于特殊用途的扩展组件，例如形状或平整度测定、映射以及各类样品夹具。样品倾斜度通过光学测量检测，可用于校正所得取向结果。