MDPlinescan

在线线扫描仪或单点测量

MDPlinescan 是一款专为无缝集成到自动化检测系统而设计的定制化设备。设备实时开展载流子寿命扫描检测，样品通过传送带或机器人系统输送至测量头下方进行检测。 应用范围涵盖从硅锭至到晶圆的全种类检测，单片硅片检测耗时可控制在 1 秒以内。该设备广泛用于电池生产线中的进料质量评估，以及钝化与扩散工艺后的质量检查等专业应用。集成过程简单直观，仅需以太网通讯接口与供电电源即可完成对接。

产品特性

• 支持单片硅片独立检测

• 可基于工艺配方执行标准化测量

• 用于监控材料品质、工艺完整性与工艺稳定性

优势

• 该小型设备的重点在于测量瞬态(µ-PCD)或稳态激发条件下少数载流子寿命和电阻率线扫描检测。

• 本设备为定制化单元，可集成于多晶或单晶硅晶圆的生产线中，适用于从不同制备阶段直至器件、晶片或锭块的各个环节。

• 小巧的尺寸和标准自动化接口使其易于集成。设备核心优势在于长期运行稳定可靠，测量结果精度优异。