革新硅锭粘接后预处理工序：全自动、高精度、模块化设计
搭载自研算法的超高速 X 射线 - 光学复合精密量测系统
采用模块化计量和工具的机器人驱动操作
完善的工厂互联能力与配套服务体系
材料
Ingot XRD SiC 设备具备高吞吐量和高精度，可高效生产先进的碳化硅晶圆。
SiC GaN AIN and more
特性与优势
无与伦比
质量
采用混合计量技术
0.005˚
轴向精度
灵活
加载和通信选项
直径
100-300
mm
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