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材料

借助 DDCOM,可以对各种材料进行精确分析。凭借其灵活性和卓越性能,我们的系统能够满足最严苛的要求。

Ag Al₂O₃ (sapphire) AlSb Au CdTe GaAs GaN GaP GaPO₄ GaSb Ge InAs InP InSb La₃Ga₅SiO₁₄ LaTiO₃ LiF LiNbO₃ Mg₂SiO₄ MgAl₂O₄ MgF₂ MgO NdGaO₃ Ni PbS PbTe Pt Si SiC 2H SiC 4H SiC 6H SiC 15R SiC₃C SiO₂ (quartz) SnTe SrLaAlO₄ SrTiO₃ TiO₂ ZnO ZnTe and more

特性与优势

超快速Omega scan方法

  • 比Theta-scan方法快200倍

  • 自动评估三维空间中的完整晶格取向

  • 5秒内确定整个晶体取向

质量控制的高效工作流程

  • 适配常规科研与工业量产全流程

  • 晶体晶向方位校准与标记功能

  • 内置预编程立方晶系标准参数

  • 新一代便捷式配套控制软件

  • 测量精度最高可达(1/100)°

结构紧凑、操作简便、性价比优异

  • 台式轻量化结构,整机轻便、便于移位搬运

  • 样品取放便捷,设备操作简单易懂

  • 搭载风冷式 X 射线光管,无需水冷,能耗与运维成本更低

切割、研磨与抛光工艺管控

  • 单晶的完整晶格取向

  • 适用于各种尺寸和重量的独特材料,例如:2-12英寸的晶圆以及重达20 kg的锭


亮点

  • 单晶完整晶格取向的测定

  • 利用Omega-scan法进行超快速晶体取向测量

  • 立方晶体的任意未知取向测定

  • 专为晶格方向的方位设定和标记而设计

  • 风冷X射线管,无需水冷

  • 适用于科研及生产质量控制

DDCOM - 通过马尔文实验室独家提供

本产品由我们的可信赖合作伙伴负责分销。

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技术规格

X射线源30 W 风冷X射线管,铜阳极
探测器两个闪烁计数器
样品架精密转盘,定位精度 0.01°,配备用于精确定位和标记样品的工具
尺寸600 mm × 600 mm × 850 mm
重量80 kg
电源100-230 V,100 W,单相
室温≤ 30°C

配件与选项

  • 用于晶圆(最大直径225 mm)mapping的设备

  • 用于从托盘自动装载的设备

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