适用于高掺杂样品的快速、稳定电阻率Mapping工具
卓越的重复性（Sigma < 0.15%）
先进的稳定性传感器
无缝集成产线 校准简便易用
材料
RESmap 专注于高掺杂材料。
Si SiC and more
特性与优势
Sigma
< 0.15 %
卓越的重复性
电阻率
1-100
mOhm cm
处理效率(吞吐量)
> 20
Wafer(片)/小时
± 5 %
带温度补偿的测量精度
涡流传感器测量原理
靶心图管理，保障检测具备最优准确度与精密度
应用
RESmap具备卓越的重复性、稳定性和准确性，是对各种材料进行精确电阻率Mapping的可靠选择。
Christian Hagendorf 博士
大客户经理
| 自动化 | 适配多种平台 |
|---|---|
| 执行标准 | SEMI MF673标准 |
| 数据及有效性依据 | 采用NIST标准 |
| 校准周期内精度 | ±1% |
| 集成红外测温传感器 (±0.1℃) | 结果通过温度补偿换算标准电阻率 |
| 样品厚度补偿 | 适用于高频信号穿透深度超过样品厚度的被测样品 |
| 电源要求 | 100-250 VAC，5 A |
| 尺寸（宽/高/深） | 465 x 550 x 600 mm |
| 软件控制 | Windows 10 及以上系统电脑，双网口 |
操作软件界面友好、功能先进，具备
电阻率测量方法
数据导出/导入、原始数据查阅
多级账户管理
所有测量结果概览
Mapping模式（线扫、十字、星形、全域、形貌、自定义图形）
分析功能包：统计分析、方差分析、温度校正函数及数据库
远程访问：基于网络系统，全球范围内支持远程操作与技术支持