可快速、便捷地完成单点少子寿命检测。
单点测量
晶片和铸锭
灵活的低成本工具
材料
MDPspot 可对绝大多数半导体材料开展少子寿命表征，操作简便、检测高效，在不损失测试精度的同时，大幅简化作业流程。
Si SiC Ge GaN GaAs InP and more
特性与优势
355-1550 nm
可用波长
10 ns
时间分辨率
> 99 %
可重复性
灵活
测量
适用于晶圆和晶锭
台式单点测试仪
本设备体积小巧、性价比高，可对不同制备阶段的各类半导体材料开展少子寿命检测。设备未集成自动化机构，应用场景灵活多样。
高性价比设计：经济实用，可稳定完成少子寿命检测工作。
广泛兼容性：适用于从薄晶圆到厚度达 156 mm的块状材料等各类半导体样品。
可选 Z 轴调节：提供手动 Z 轴调节功能，便于精确处理较厚的样品。
直观的软件：标配专业软件，检测结果可视化清晰，支持数据分析。
该设备操作简便、检测高效，可有效简化检测流程。
应用
技术规格
| 单晶或多晶硅片、硅砖、电池，以及经过钝化或扩散等不同加工工序后的硅片 | |
|---|---|
| 样品尺寸 | 大于 50 x 50 mm² 至 12 英寸或 210 x 210 mm² |
| 电阻率 | 0.2 - 10³ Ohm·cm |
| 材料 | 硅片、硅砖、部分或完全加工过的硅片、化合物半导体及其他材料 |
| 可测量的性质 | 载流子寿命 |
| 尺寸 | 360 x 360 x 520 mm，重量：16 kg |
| 电源 | 110/220 V，50/60 Hz，3 A |
