SPV-4-UWBG - 超宽禁带半导体表面光电压技术研发

2025年6月1日 – 2027年12月31日

本项目旨在针对氮化铝等首批超宽禁带半导体建立表面光电压(SPV)测量方法,评估方法有效性,并采用辅助分析技术解读测量结果;同时将开展理论模拟,帮助深入理解该测量原理的物理机制。


PERLE -钙钛矿叠层太阳能电池光伏行业计量技术研发

2024年5月1日 – 2027年4月30日

本项目旨在开发基于MDPSPS测量的叠层太阳能电池在线表征新方法。Freiberg Instruments 将与多家科研院所、企业合作开展本项目,以强化德国光伏产业竞争力;项目将对钙钛矿与硅的不同膜层及叠层结构进行研究与表征。


TemCrysT - 面向 GaN 晶体管开发的 GaN 模板、GaN 晶体与 GaN 晶圆

2023年7月1日 – 2026年3月6日

本项目目标为建立基于拉曼测量的 GaN 工艺自动化表征方法,巩固并扩大弗赖贝格半导体产业聚集地的竞争力。具体研发内容:Freiberg Instruments 将开发全自动共焦拉曼测量演示装置,用于分析异质外延工艺导致的晶体固有残余应力,从而在全工艺链上实现优质工艺反馈。将目前已在硅材料上成熟应用的 MDP 方法(微波探测光电导法)首次应用于大尺寸 HVPE GaN 晶体,研究并验证该材料缺陷分析的应用潜力。对新开发的 SPV 光谱仪(表面光电压)进行 GaN 材料适配,使该设备可用于 GaN 材料表征。


G12 - 从 M2 到 G12 的单晶硅片开发 : 未来电池片尺寸

2022年4月1日 – 2025年3月31日

针对最大尺寸 210×210mm 的单晶硅方,开发 MDP 寿命测量技术。

“G12” 项目的核心目标是开展大尺寸(182×182mm、210×210mm,远期有望覆盖 240×240mm)晶锭与硅片的工艺技术开发。大尺寸晶锭、大尺寸硅片的生产,需要进一步升级晶体生长系统、工艺控制、晶锭与硅方的机械加工工艺,以及最终的硅方、硅片质量检定工具。Freiberg Instruments 子项目的研究重点为:基于 MDP 技术的大尺寸硅方寿命测量技术的进一步开发。


半导体

2021年3月1日 – 2024年2月29日

本项目开发了一种基于太赫兹技术的快速、非接触式表征工具,用于测量半导体薄层的掺杂浓度、面电阻和层厚。

阅读应用说明


SALSA - 电荷载流子选择性太阳能电池的测量技术和灵敏度分析

2021年4月1日 – 2024年3月31日


在“SALSA”项目中,将针对异质结(HJT)和TOPCon等前沿太阳能电池技术,开发、优化并进行技术经济评估,重点在于质量保证和工艺控制所需的在线测量技术以及质量保证方案。Freiberg Instruments公司的重点在于利用MDP技术,进一步开发针对HJT和TOPCon技术的在线寿命测量能力。 

主要任务包括:

  1. 针对TOPCon和HJT的系统优化(在线——MDPlinescan,离线——MDPmap

  2. 确定不同制造阶段(TOPCon/HJT)的合适激发条件

  3. 特定工艺阶段中缺陷的可检测性

  4. 开发优化版MDPlinescan系统方案


SPV - 开发用于表征光活性材料的表面光电电压光谱仪

2021年1月1日 – 2022年12月30日

迄今为止,市场上尚无一款通用的紧凑型SPV光谱仪(SPV:表面光电压),能够对几乎所有光活性材料和半导体进行检测。 本项目的目标是开发一款紧凑型SPV光谱仪。借助我们创新的SPV光谱仪及已申请专利的测量装置,有望在从深紫外到近红外这一极宽的光谱范围内,以非接触式且前所未有的灵敏度对电荷分离、电子跃迁及扩散长度进行表征。

根据项目合作伙伴的互补优势,Freiberg Instruments 专注于设备开发和原型机的生产;HZB 负责方法开发、关键组件的开发、验证和测试;HZG 则负责 SPV 的模拟以及分析与模拟软件的开发。


技术转让 PIDcon bifacial

2020年7月1日 – 2020年12月31日

在本项目中,弗劳恩霍夫硅光伏中心(CSP)将向Freiberg Instruments有限公司(Freiberg Instruments GmbH)转让一种用于测试双面太阳能电池对电位诱导退化(PID)敏感性的新型技术,并将其开发为可商业化的产品。弗劳恩霍夫CSP已就一项新型工艺(用于测试太阳能组件或太阳能电池电位诱导退化的工艺及装置)申请了专利,并将向Freiberg Instruments有限公司转让该技术。

本项目由SAB和欧盟共同资助。


QualiZell mess-ODNP

2019年11月1日 – 2021年10月30日

Freiberg Instruments 正与波鸿工业大学合作,开发一种用于 ODNP 测量的工具,该技术结合了电子顺磁共振(EPR)和核磁共振(NMR),用于研究水动力学和蛋白质功能。
该项目由 ZIM 及德国政府通过 ZIM 网络“细胞疗法质量控制”(https://www.qualitaetskontrolle-zelltherapie.de/)提供资助。


µTHIN

2019年9月1日 – 2021年8月31日

本项目的目标是开发一种基于微波检测的传感器,用于测量例如GaN/Si薄膜的片电阻。此外,将在时间分辨率、灵敏度以及不同温度下的成像能力方面,将MDP技术提升至更高水平。项目合作伙伴弗莱贝格工业大学将把新型传感器和改进版MDP的测量结果与光致发光(PL)和拉曼(Raman)测量结果进行关联,以期对测量结果的解读获得新的见解。

本项目由欧盟欧洲区域发展基金(EFRE)提供资助。


欧米茄扫描

2018年1月1日 – 2020年12月31日

Omega-Scan技术在不同应用领域的应用进展

Freiberg Instruments 正进一步推进其 Omega-Scan 技术,以满足单晶取向的多样化需求,包括金刚石及其他宽禁带半导体、外延层、涡轮叶片和石英的取向。

该项目由SAB和欧盟提供资金支持。


PID 恢复

2018年1月1日 – 2020年12月31日

Freiberg Instruments 参与了一个旨在开发一种预测 PID 恢复能力、从而评估组件效率的方法的项目。Freiberg Instruments 正在进一步开发其 PIDcheck 工具,用于对组件在自由场条件下的 PID 测试及其恢复情况进行评估。

该项目由德国联邦经济事务与能源部(BMWi)提供资金支持。


材料 - 解决方案 - 增长

2017年5月1日 – 2020年4月30日

智能工艺——智能材料
MSM生产与材料表征的工艺技术

在子项目2“MSM致动器棒的生产工艺链”中,Freiberg Instruments公司正在研究X射线衍射方法在MSM(磁形记忆)单晶晶体取向测定中的适用性。若评估结果积极,将探讨与后续加工步骤的紧密衔接,并实现测定过程的自动化。

该项目由德国联邦教育与研究部(BMBF)在“Zwanzig20”资助项目框架下提供资金支持。
 


Q-Crystal

2017年1月1日 – 2019年12月31日

本项目的总体目标是在工业条件下,借助针对硅砖和硅片快速且创新的质量评估方法,优化块状硅的生产工艺,从而提高由此制成的硅片质量。这一目标将通过一种高效率的工业太阳能电池结构来验证。Freiberg Instruments 与来自工业界和弗劳恩霍夫协会的 7 家合作伙伴共同参与本项目。

本项目由德国联邦经济和能源部(BMWi)资助。


联系人:
Nadine Schüler 博士 (schueler@freiberginstruments.com)


SEA4KET

2013年11月1日 – 2017年4月30日

本项目的目标是评估适用于450毫米晶圆的各种计量组件。Freiberg Instruments公司为本项目提供了一套用于高分辨率寿命测量的测量头。


CUT-B

2015年12月1日 – 2018年11月30日

本项目的目标是评估并提升德国光伏行业的尖端表征与技术水平。重点在于在线测量工具,以及通过不同测量参数预测太阳能电池效率。

Freiberg Instruments公司通过其在线测量工具MDPinline参与了该项目。项目旨在通过对晶圆在不同工艺步骤后的寿命进行测量,提升太阳能电池效率预测的准确性。此外,还针对不同工艺步骤中的典型误差进行研究,以实现自动检测。

该项目由德国联邦经济事务与能源部(BMWi)提供支持。

联系人:
Nadine Schüler
博士 电子邮箱:schueler@freiberginstruments.com


2016年1月1日 – 2018年12月31日

该项目由Freiberg Instruments公司与弗莱贝格工业大学(TU Freiberg)共同参与,旨在改进用于测量宽带隙半导体的科学工具MDPmap。具体包括

  • 提高时间分辨率,以便也能测量较短的寿命(> 10 ns)

  • 提高灵敏度

  • 将温度范围扩展至800 K,以研究深层缺陷

本项目由萨克森州研究局(SAB)和欧盟共同资助。


PIDcheck

2016年3月7日 – 2017年6月6日

这是一个获得资助的技术转移项目,Freiberg Instruments公司正与位于哈勒的弗劳恩霍夫CSP研究所合作,开发一款用于在自由场条件下测试组件的PID测试工具。

该项目由萨克森州研究促进局(SAB)和欧盟提供资金支持。

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