10/30/2023

XRD系列, 新闻

马尔文帕纳分析公司已收购弗莱贝格仪器公司开发的六款X射线衍射系统产品线。通过将久经考验的晶体取向技术与全球销售和服务网络相结合,此次收购使全球半导体制造商能够更广泛地获得这些专业解决方案。

半导体生产越来越依赖于种类繁多的晶体基板材料。在锭、晶棒和晶圆进入切割、研磨、外延、光刻或离子注入等下游工艺之前,必须高精度地测定其晶体取向。

即使晶体取向或切边角度存在微小偏差,也会影响最终器件的材料性能和整体表现。因此,快速且可靠的取向测量有助于制造商改善工艺控制、提高良率、减少材料浪费,并更高效地利用宝贵的半导体材料。

此次收购的产品组合包括六款用于晶体取向测量的X射线衍射系统:DDCOM、SDCOM、Omega/Theta、Wafer XRD 200、Wafer XRD 300和XRD-OEM。 这些解决方案的应用范围广泛,涵盖从紧凑型台式测量和自动化晶圆检测,到直接集成到工业切割和研磨设备中。

这些系统的核心是弗莱贝格仪器公司的超高速 Omega Scan 技术。该技术可在单次测量旋转内确定完整的晶格取向,从而在几秒内获得精确结果。这种速度、精度与坚固系统设计的结合,既支持工业质量控制,也支持先进材料研究。

“我们的XRD解决方案凭借其超高速Omega Scan技术,始终向半导体制造商展现着其价值,” 

弗莱贝格仪器公司首席执行官凯·多尔尼奇博士表示。

 

此次收购将弗莱贝格仪器公司的专业测量技术与马尔文帕纳利特公司的国际市场影响力相结合。这不仅强化了马尔文帕纳利特公司在半导体计量领域的业务组合,同时也扩大了晶体取向系统的全球覆盖范围。

Freiberg Instruments 将继续为现有客户提供支持,并针对高要求应用开发专业测量解决方案。这包括定制化系统、集成自动化以及针对特定生产环境量身打造的完整工作流程。

该协议彰显了通过战略合作如何将成熟技术进行规模化推广。通过向更广泛的国际市场提供先进的晶体取向解决方案,两家公司正共同推动更精准、高效且可持续的半导体制造。

如需了解更多详情,请阅读马尔文帕纳利特发布的新闻稿。